일반뉴스 [AW 2024] 다온오토메이션, 간섭계 영역 센서 및 3D 공초점 라인 센서 서보여
다온오토메이션은 스마트공장·자동화산업전 2024(Smart Factory+Automation World 2024, 이하 AW 2024)’에 참가해 독일 PRECITEC사 간섭계 영역 센서, 3D 공초점 라인 센서와 SSZN사 3D 라인 프로파일 센서를 선보였다. 스마트공장·자동화산업전 2024은 아시아 최대 규모 스마트공장 및 자동화산업 전문 전시회다. 이번 전시회는 3월 27일부터 29일까지 총 3일간 코엑스 전시장 전관에서 개최되며, 올해는 450여개 기업이 2000여 부스 규모로 참여했다. 이번 AW 2024에서 다온오토메이션이 전시한 제품 중 주목받을 제품은 간섭계 영역 센서(Flying Spot Scanner-FSS310)다. FSS310은 반도체 산업군에서 웨이퍼 Warpage, Bow, TTV 모니터링, COW(Chip On Wafer) 측정·검사에 획기적인 솔루션을 제공하고 있다. 다양한 재질에 대한 정밀 측정이 가능하고, 짧은 검사 주기(12” 웨이퍼 기준 10초 이내)로 인라인 고속 측정이 가능해 제품 품질관리 비용 절감 효과를 제공한다. Flying Spot Scanner(FSS310)는 물체의 색상·형태·재질에 영향없이 안정적인 측정,